2024年4月16-17日,由亞化咨詢主辦的第六屆鈣鈦礦、異質(zhì)結(jié)與疊層電池論壇在常州成功召開。會議吸引了超過700名業(yè)內(nèi)同仁參加。會上,合肥欣奕華智能機器股份有限公司(下稱“合肥欣奕華”)蒸鍍事業(yè)部劉總監(jiān)受邀發(fā)表了《大面積GW蒸鍍技術及應用》的主題演講。
隨著第三代光伏技術鈣鈦礦的不斷發(fā)展,蒸鍍設備被越來越廣泛地應用于鈣鈦礦生產(chǎn)中,尤其是針對大尺寸的鈣鈦礦電池片成膜。由于當前各家針對鈣鈦礦單結(jié)工藝技術逐漸趨同,其中吸收層、電子傳輸層、鈍化層均可以使用真空蒸鍍方式制備。在談到晶硅+鈣鈦礦疊層電池技術路線方面,他提到HJT+鈣鈦礦疊層電池,由于HJT表面會產(chǎn)生微米級絨毛,導致無法用溶液法直接制備鈣鈦礦吸收層,一般先采用蒸鍍來制備PbI2和CsBr膜層骨架,之后再涂布FAI材料。而C60材料作為良好的電子傳輸層材料,因無法使用溶液法制備,需要真空蒸鍍。因此,鈣鈦礦疊層電池吸收層、電子傳輸層、鈍化層制備均需要使用真空蒸鍍設備。
合肥欣奕華從2015年開始布局真空蒸鍍設備研發(fā),擁有豐富的大尺寸真空熱蒸發(fā)均勻成膜、高精度對位、真空物流傳輸?shù)榷囗椇诵募夹g開發(fā)經(jīng)驗。2021年合肥欣奕華開始布局鈣鈦礦Inline型蒸鍍機研發(fā),攻克了多項大面積鈣鈦礦成膜關鍵技術,包括鹵化物材料防腐蝕共蒸、近空間高材料利用率、線源長時間穩(wěn)定化蒸鍍、獨特無變性坩堝設計等技術,可確保材料穩(wěn)定蒸鍍,獲得高結(jié)晶和高致密性膜層。合肥欣奕華目前已完成小型到中試到GW級系列鈣鈦礦蒸鍍機開發(fā)和量產(chǎn)應用,獲得了國內(nèi)多家龍頭客戶訂單。