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         11月13日-14日，2024 SEMI大灣區(qū)產(chǎn)業(yè)峰會(huì)在廣州召開，本次峰會(huì)由SEMI主辦，日程涵蓋多個(gè)核心主題，包括智能電動(dòng)汽車芯片、綠色廠務(wù)及半導(dǎo)體先進(jìn)測試技術(shù)等，并設(shè)有OLED、Mini&Micro LED供應(yīng)鏈國際論壇，關(guān)注新興顯示技術(shù)的進(jìn)展，以及未來市場趨勢。對于顯示技術(shù)，從原材料到產(chǎn)品出廠的每一關(guān)鍵環(huán)節(jié)都是與會(huì)者關(guān)注的焦點(diǎn)。論壇上，合肥欣奕華智能機(jī)器股份有限公司（以下簡稱“合肥欣奕華”）真空鍍膜事業(yè)部劉總監(jiān)受邀發(fā)表了《OLED蒸鍍設(shè)備的解決方案》主題演講。

         隨著全球OLED產(chǎn)能重心逐漸向國內(nèi)轉(zhuǎn)移，OLED設(shè)備國產(chǎn)替代迎來了新機(jī)遇。國內(nèi)面板擴(kuò)產(chǎn)帶動(dòng)設(shè)備投資擴(kuò)張，據(jù)數(shù)據(jù)預(yù)測，國內(nèi)AMOLED產(chǎn)線設(shè)備市場投資規(guī)模將在2024年到達(dá)歷史新高約866億元。在AMOLED工藝制程中，蒸鍍是生產(chǎn)制造的核心，直接影響OLED面板良率與質(zhì)量。

         合肥欣奕華自2015年起布局研發(fā)OLED蒸鍍設(shè)備及關(guān)鍵裝置，2017年首臺G1 OLED蒸鍍設(shè)備出貨至今，已完成G1和G2.5AMOLED蒸鍍機(jī)、12寸Micro OLED蒸鍍機(jī)、點(diǎn)型和線性蒸發(fā)源、高精密對位系統(tǒng)等OLED蒸鍍設(shè)備及關(guān)鍵裝置系列產(chǎn)品開發(fā)及量產(chǎn)交付，G1和G2.5 OLED蒸鍍機(jī)可應(yīng)用于OLED車燈和車顯、OLED照明、智能穿戴等小尺寸OLED面板量產(chǎn)，Micro OLED蒸鍍機(jī)適用于AR/VR近眼顯示、智能穿戴等Micro OLED面板量產(chǎn)。合肥欣奕華目前已經(jīng)完成以下幾項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)突破：

1）蒸鍍膜厚均勻性保證技術(shù)：通過創(chuàng)新設(shè)計(jì)加熱機(jī)構(gòu)和冷卻單元、開發(fā)相關(guān)調(diào)控裝置和控制程序，保證了蒸發(fā)溫度場的均勻性控制精度，蒸發(fā)粒子在材料平衡蒸氣壓下進(jìn)行導(dǎo)向性控制，保證了蒸發(fā)速率的穩(wěn)定性。

2）有機(jī)材料共蒸分子混合比控制技術(shù)：設(shè)計(jì)了組合型線源模組，進(jìn)行2-3種不同有機(jī)多分子材料（主材和輔材）共蒸。通過多因素控制使主材和輔材按照一定比例在基板上混合沉積，得到主輔材混合比穩(wěn)定均勻的膜層。

3）有機(jī)材料長時(shí)間蒸鍍裂解變性預(yù)防控制技術(shù)：通過對蒸發(fā)環(huán)境的綜合控制策略設(shè)計(jì)，降低有機(jī)材料分子碰撞幾率，減緩其分解變性程度和時(shí)間，以滿足生產(chǎn)工藝對連續(xù)蒸鍍時(shí)間和物質(zhì)純度的要求。

4）高真空環(huán)境下玻璃基板與掩膜版精準(zhǔn)自對位技術(shù)：設(shè)計(jì)了大尺寸玻璃基板最小化下垂支持機(jī)構(gòu)、開發(fā)了掩膜版與玻璃基板磁力吸附與均勻壓合技術(shù)，實(shí)現(xiàn)高真空環(huán)境下大尺寸玻璃基板與掩膜版微米級精準(zhǔn)自對位。

         隨著國內(nèi)六代面板產(chǎn)線建設(shè)周期進(jìn)入尾聲，高世代產(chǎn)線火熱上馬，國產(chǎn)設(shè)備將會(huì)迎來廣闊的國產(chǎn)化替代機(jī)遇，合肥欣奕華將持續(xù)布局研發(fā)高世代線OLED蒸鍍設(shè)備，助力夯實(shí)我國在OLED面板生產(chǎn)領(lǐng)域的競爭優(yōu)勢。