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半導(dǎo)體設(shè)備前端模塊EFEM

應(yīng)用場(chǎng)景：廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片制造與封裝、硅片制造行業(yè)核心工藝制程設(shè)備的前端模塊，與工藝機(jī)臺(tái)搭配使用，對(duì)晶圓進(jìn)行上下料搬運(yùn)。可根據(jù)產(chǎn)能與工藝要求，配置不同Port數(shù)量和功能，并可配置E84模塊，可與廠內(nèi)天車系統(tǒng)進(jìn)行對(duì)接


產(chǎn)品特點(diǎn)



– 高潔凈度，高信賴性

– 高傳輸速度

– 高重復(fù)定位精度

– N?Purge系統(tǒng)，防腐蝕

– 快速設(shè)置

核心技術(shù)



– 高潔凈度控制技術(shù)、凈化設(shè)計(jì)技術(shù)

– 平穩(wěn)快速搬運(yùn)振動(dòng)抑制技術(shù)

– 耐腐蝕性技術(shù)

– N? Purge技術(shù)

– 腐蝕氣體強(qiáng)制排氣技術(shù)



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