應(yīng)用場(chǎng)景:廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)、封裝、硅片制造行業(yè)等潔凈環(huán)境下的物料搬送系統(tǒng),可實(shí)現(xiàn)工藝設(shè)備(EQ)、晶圓盒空中緩存(OHB)、晶圓盒存儲(chǔ)庫(Stocker)之間的物料高效、智能搬送
產(chǎn)品特點(diǎn)
– 全面的防撞與安全連鎖
– 高效的動(dòng)態(tài)路徑算法
– 高負(fù)載、高速度
– 高性能振動(dòng)抑制與平穩(wěn)運(yùn)行
核心技術(shù)
– 自主開發(fā)的動(dòng)態(tài)路徑算法
– 高速高精度走行控制技術(shù)
– 軌道匯合點(diǎn)防撞技術(shù)
– 抑制振動(dòng)與Particle技術(shù)