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產品特點

– 標準化設計

– 可對應GLASS，F(xiàn)ILM全工廠段

– 信息數(shù)據(jù)管理

– 高潔凈度設計

– 維護便捷

– 可提供靈活的定制化設計，安裝調試可快速對應

核心技術

– 氣流計算技術

– 高潔凈度凈化設計技術

– 機械剛度計算技術

– 設備故障自診斷

– 設備遠程控制

– 信息數(shù)據(jù)管理技術