應(yīng)用場(chǎng)景:廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)與封裝、硅片制造行業(yè)生產(chǎn)線上晶圓盒物流自動(dòng)存儲(chǔ),作為物料存儲(chǔ)空間以平衡各生產(chǎn)工藝設(shè)備間的產(chǎn)能差異,可增加無(wú)塵室的空間使用率
產(chǎn)品特點(diǎn)
– 全面的防撞與安全連鎖
– 高新能振動(dòng)與平穩(wěn)運(yùn)行
– 占用空間少
– 輕量化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
– 多維度、高精度定位
核心技術(shù)
– 高潔凈設(shè)計(jì)
– 故障診斷與預(yù)測(cè)技術(shù)
– 振動(dòng)抑制技術(shù)