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小尺寸巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備
應(yīng)用場景:Mini/Micro LED 行業(yè)核心工藝制程的微米級LED芯片高速巨量轉(zhuǎn)移

產(chǎn)品特點



– 小尺寸基材高速高精度固晶

– 可對應(yīng)多種小尺寸基材

– Mini LED內(nèi)部特征識別定位

– Wafer自動上下料

– 標(biāo)準(zhǔn)化軟件接口

核心技術(shù)



– 高剛度結(jié)構(gòu)設(shè)計及高頻沖擊下的振動抑制技術(shù)

– 為滿足高精度運動控制的多源誤差識別和補償技術(shù)

– 適應(yīng)高速高精度固晶運動的亞毫秒級多軸協(xié)同運動控制

– 高精度的視覺識別技術(shù),適用于識別各種Mini/Micro LED的微米級特征



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