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晶圓自動(dòng)分揀機(jī)Sorter
應(yīng)用場(chǎng)景：高速、潔凈地對(duì)晶圓進(jìn)行傳送、分批、合批、對(duì)齊、讀刻號(hào)、翻轉(zhuǎn)等，與廠內(nèi)天車系統(tǒng)進(jìn)行對(duì)接



產(chǎn)品特點(diǎn)



– 高潔凈度、可靠性、高重復(fù)定位精度

– 提供客戶定制系統(tǒng)

– 2~16 Port 裝載端口

– 占地面積小

– 低Wafer ID 讀取失敗率

核心技術(shù)



– 高潔凈度、可靠性、 重復(fù)精度

– 控制 Wafer 及遏制設(shè)備震動(dòng)

– OCR 控制及讀取 Wafer ID



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