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產(chǎn)品特點(diǎn)

– 高潔凈度、高精度、高可靠性

– 抽屜式可拉出Manual Port

– 針對(duì)2-4 Port, 提供客戶定制系統(tǒng)

– 根據(jù)需要可配置6-12個(gè)Buffer

– 符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)，可與Fab系統(tǒng)數(shù)據(jù)交互，以及基于E84通訊協(xié)議對(duì)接天車系統(tǒng)

核心技術(shù)

– 高精度、高可靠性、高潔凈度

– 振動(dòng)抑制技術(shù)