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產(chǎn)品特點

– 根據(jù)CAD檔自動建模，自動規(guī)劃檢測路徑

– 微米級分辨率

– 檢測曝光精度，同時輸出開窗區(qū)尺寸，兼容檢測焊盤缺陷

核心技術(shù)

– 曝光區(qū)域精確定位和檢測技術(shù)

– 自動路徑規(guī)劃技術(shù)

– 高分辨率圖像的高速采集與處理技術(shù)

– 高精度平臺設(shè)計和控制技術(shù)