產(chǎn)品特點(diǎn)
– 檢測(cè)缺陷同時(shí)量測(cè)膠體尺寸
– 高解析度成像, 檢測(cè)精度微米級(jí)
– 膠體3D測(cè)量(可選)
– 路徑規(guī)化,自適應(yīng)基板翹曲
核心技術(shù)
– 高效照明技術(shù),有效檢出透明膠體中的缺陷;
– 自動(dòng)路徑規(guī)劃技術(shù)
– 高分辨率圖像的高速采集與處理技術(shù)
– 高精度平臺(tái)設(shè)計(jì)和控制技術(shù)