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產(chǎn)品特點(diǎn)

– 兼容玻璃和wafer蒸鍍

–  Inline Type

– 標(biāo)準(zhǔn)化

– 模塊化

– 成膜均勻性高

– 膜厚穩(wěn)定性高

– 速率穩(wěn)定性高

核心技術(shù)

– 蒸鍍模擬技術(shù)

– 定制化產(chǎn)品，可配置點(diǎn)源或電子束

– 具備Auto PID，蒸鍍穩(wěn)定，成膜均勻

– log分析技術(shù)

– 產(chǎn)品成熟，運(yùn)營(yíng)穩(wěn)定