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產(chǎn)品特點

- 兼容玻璃和wafer蒸鍍

- Inline Type

- 標準化

- 模塊化

- 成膜均勻性高

- 膜厚穩(wěn)定性高

- 速率穩(wěn)定性高

核心技術

- 蒸鍍模擬技術

- 定制化產(chǎn)品，可配置線源、點源或電子束

- 具備Auto PID，蒸鍍穩(wěn)定，成膜均勻

- log分析技術

- 產(chǎn)品成熟，運營穩(wěn)定