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產(chǎn)品特點(diǎn)

– 采用準(zhǔn)分子激光器（ Excimer Laser ）

– 設(shè)備可對(duì)應(yīng)2~8 英寸晶圓，全自動(dòng)上下料

– 獨(dú)特的光路、工藝設(shè)計(jì)，確保GaN低損傷

– 可進(jìn)行整面剝離、選擇性剝離、單顆剝離

– 高精度運(yùn)動(dòng)&對(duì)位系統(tǒng)，剝離精度微米級(jí)

– 光斑監(jiān)控系統(tǒng)，確保激光穩(wěn)定性及可追溯性

– Mask全自動(dòng)切換，解決手動(dòng)更換Mask痛點(diǎn)

核心技術(shù)

- 客制化光斑尺寸

- 高精度運(yùn)動(dòng)平臺(tái)

- 在線光斑分析

- 全自動(dòng)Mask切換模塊