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產(chǎn)品特點(diǎn)

– 采用固體激光器，運(yùn)行穩(wěn)定，維護(hù)費(fèi)用低

– 可對應(yīng)4~8 英寸晶圓清洗，支持載臺更換

– 多家客戶清洗驗(yàn)證，清洗低損傷、高良率

– 可監(jiān)控激光器狀態(tài)，確保加工品質(zhì)一致

– 支持Flat、PSS外延結(jié)構(gòu)LED 清洗作業(yè)

核心技術(shù)

- 特定的脈寬控制，汽化Ga的同時避免破壞發(fā)光層

- 可視化編輯清洗位置