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產(chǎn)品特點

– 轉(zhuǎn)移精度微米級，光斑尺寸毫米級

– 運動平臺XY軸重復(fù)定位精度納米級

– 光學(xué) Mask 旋轉(zhuǎn)設(shè)計，可調(diào)整光斑方向

– 上下平臺水平可自動調(diào)整，調(diào)整精度微米級

– 供體平臺可對應(yīng) 4&6英寸晶圓或者載板

– 受體運動平臺支持基板470*370mm基板

核心技術(shù)

- 自主設(shè)計光路系統(tǒng)

- 客制化光斑尺寸

- 高精度運動對合平臺

- 在線光斑分析

- 精準(zhǔn)的轉(zhuǎn)移間距控制