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硅基蒸鍍?cè)O(shè)備

應(yīng)用場(chǎng)景:適用于AR/VR近眼顯示、智能穿戴等Micro OLED面板量產(chǎn)


產(chǎn)品特點(diǎn)



– 基板尺寸8英寸和12英寸

– Cluster Type

– 標(biāo)準(zhǔn)化

– 模塊化

– 成膜均勻性高

– 光學(xué)對(duì)位

– 運(yùn)營(yíng)穩(wěn)定

核心技術(shù)



– CCD高精密對(duì)位技術(shù)

– 模塊化設(shè)計(jì),可以滿(mǎn)足客戶(hù)多樣化定制需求

– 高信賴(lài)性,可實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定稼動(dòng)生產(chǎn)   



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