主要產(chǎn)品
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蒸發(fā)源
應(yīng)用場景：適用于G6H及以上量產(chǎn)蒸鍍系統(tǒng)的多種有機材料蒸鍍的線源和用于Mg、Ag、LiF、Yb 和Al材料蒸鍍的點源
產(chǎn)品特點
– 標(biāo)準(zhǔn)化
– 模塊化
– 成膜均勻性高
– 材料利用率高
– 穩(wěn)定運營時間長
核心技術(shù)
– 高精密溫度控制技術(shù)
– 長時間運營穩(wěn)定性
– 真空熱系統(tǒng)蒸鍍模擬技術(shù)
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