應(yīng)用場(chǎng)景 : 顯示行業(yè)微米級(jí)線路斷路/短路缺陷檢測(cè)
產(chǎn)品特點(diǎn)
– 適用對(duì)象:TFT-LCD、LTPS、OLED
– 可檢測(cè)缺陷:Gate/Cs/Data open/short/cross short
– 即時(shí)在線檢測(cè)
– 模塊化設(shè)計(jì),標(biāo)準(zhǔn)化CIM通訊軟件
– 多軸高精度運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)
– 完全非接觸式檢測(cè)技術(shù)
核心技術(shù)
– 完全非接觸式檢測(cè)技術(shù)
– 高精度運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)