應(yīng)用場(chǎng)景:可應(yīng)用于LCD、OLED、Mini/Micro LED等顯示行業(yè)各類(lèi)核心工藝制程的基板潔凈搬運(yùn)
產(chǎn)品特點(diǎn)
– 模塊化設(shè)計(jì)
– 標(biāo)準(zhǔn)化接口
– 輕量化設(shè)計(jì)
– 高潔凈度密封設(shè)計(jì)
– 高速、高精度、潔凈搬運(yùn)
– 多枚基板同時(shí)處理,節(jié)省Tact Time
核心技術(shù)
– 大型基板搬運(yùn)振動(dòng)抑制
– 高潔凈度密封、凈化設(shè)計(jì)
– 基于位置反饋的變加速控制
– 故障診斷與預(yù)測(cè)
– 高精度精密加工、組裝工藝與檢測(cè)