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硅片視覺檢查AVIS

應(yīng)用場景 : 應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)、硅片制造行業(yè)工藝制程機(jī)臺的自動晶圓檢測系統(tǒng)


產(chǎn)品特點(diǎn)



– 功能可選模塊化設(shè)計

– 緊湊型封口

– 高潔凈度、高可靠性、高精度

– 提供系統(tǒng)定制

– 傳輸振動抑制控制

– 視覺檢測運(yùn)動控制

核心技術(shù)



– 通信接口適配技術(shù)

– Dual-Arm控制技術(shù)

– 晶圓Mapping技術(shù)

– 晶圓360°旋轉(zhuǎn)控制

– 晶圓表面光源檢測

– 簡易化運(yùn)維管理平臺



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