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據(jù)悉，近日泛半導(dǎo)體智能制造整體解決方案供應(yīng)商合肥欣奕華智能機(jī)器股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱“合肥欣奕華”）已完成12inch半導(dǎo)體自動(dòng)物料搬送系統(tǒng)AMHS（Automatic Material Handling System）的開發(fā)和Demo系統(tǒng)運(yùn)營(yíng)，并通過(guò)了技術(shù)規(guī)格驗(yàn)證。

芯片制造對(duì)工藝和環(huán)境要求很高——先進(jìn)的12inch半導(dǎo)體工廠需要無(wú)塵潔凈的環(huán)境，對(duì)整個(gè)工廠運(yùn)營(yíng)的自動(dòng)化、智能化程度要求很高，這使得如何提高整個(gè)潔凈工廠的空間利用率、減少機(jī)臺(tái)的閑置時(shí)間、提升生產(chǎn)效率和產(chǎn)品良率成為其重點(diǎn)關(guān)心的問(wèn)題。

據(jù)悉，12inch半導(dǎo)體制造工廠的AMHS系統(tǒng)由多種硬件設(shè)備（OHT、OHB、OHCV、Stocker、Lifter、NTB等）和軟件系統(tǒng)（MCS、OCS、STKC等）組成。AMHS系統(tǒng)可以在潔凈環(huán)境中實(shí)現(xiàn)復(fù)雜工藝間的無(wú)人自動(dòng)搬送，提升運(yùn)營(yíng)效率的同時(shí)確保品質(zhì)和良率。因此AMHS系統(tǒng)是12inch先進(jìn)工藝晶圓廠大規(guī)模量產(chǎn)，提高生產(chǎn)效率的優(yōu)先選擇。隨著行業(yè)技術(shù)發(fā)展，AMHS也將被大規(guī)模應(yīng)用于12inch硅片制造、芯片制造、先進(jìn)封裝等各種半導(dǎo)體制造工序中。

合肥欣奕華AMHS系統(tǒng)的搬送效率、晶圓保護(hù)、動(dòng)作精度等各項(xiàng)性能指標(biāo)均達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，擁有自主開發(fā)的路徑搜索算法，具備大規(guī)模車輛智能調(diào)度能力。其中自主研發(fā)的高速OHT產(chǎn)品，技術(shù)規(guī)格和信賴性達(dá)到業(yè)界先進(jìn)水平，可以在最高320m/min的高速行駛下平穩(wěn)運(yùn)行，同時(shí)高速行駛的振動(dòng)數(shù)據(jù)、移栽速度、Vehicle間防沖撞控制等技術(shù)指標(biāo)比肩業(yè)界頂尖供應(yīng)商。合肥欣奕華OHT最大負(fù)載15公斤，可以對(duì)應(yīng)多種制造工序的產(chǎn)品，而且具備單LOOP內(nèi)同時(shí)控制200臺(tái)Vehicle的配車能力。

“我們打造了占地面積400平米，有數(shù)百米軌道的龐大AMHS Demo系統(tǒng)，產(chǎn)品具備先進(jìn)的技術(shù)和快速迭代能力。OHT和Stocker的Demo為了驗(yàn)證復(fù)雜系統(tǒng)的信賴性和技術(shù)指標(biāo)，OHT設(shè)計(jì)了多種復(fù)雜軌道環(huán)境，包括直軌、轉(zhuǎn)彎、分歧合流部等，進(jìn)一步還特別設(shè)計(jì)并驗(yàn)證傾斜軌道爬坡功能、雙層軌道、軌道自清潔功能以及搬送中的晶圓盒后蓋異常實(shí)時(shí)偵測(cè)功能等。我們還對(duì)核心部品無(wú)線供電系統(tǒng)進(jìn)行了冗余化設(shè)計(jì)，對(duì)軟件系統(tǒng)的服務(wù)器進(jìn)行自動(dòng)切換的雙機(jī)熱備設(shè)計(jì)，大大增加了系統(tǒng)的信賴性。軟件方面，OCS控制系統(tǒng)和MCS系統(tǒng)使用新型軟件架構(gòu)，支持海量大數(shù)據(jù)的快速采集和分析，支持不停機(jī)更新，其系統(tǒng)具備實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)管理與統(tǒng)計(jì)、情景3D重現(xiàn)、Vehicle預(yù)約、FDC監(jiān)控、路徑規(guī)劃算法的動(dòng)態(tài)更新等創(chuàng)新功能。”合肥欣奕華AMHS產(chǎn)品負(fù)責(zé)人介紹到，“客戶很關(guān)注我們?cè)诖笠?guī)模量產(chǎn)制造下系統(tǒng)對(duì)應(yīng)能力，為此我們特意搭建了Digital Twin（數(shù)字孿生）平臺(tái)，不但能加快產(chǎn)品設(shè)計(jì)迭代的速度，還能構(gòu)建與客戶工廠相同的數(shù)字化虛擬工廠，模擬設(shè)備、系統(tǒng)和真實(shí)生產(chǎn)制造的環(huán)境，從而驗(yàn)證超大規(guī)?？刂颇芰?。我們提供了一個(gè)高信賴性、高效的12inch晶圓AMHS系統(tǒng)的整體解決方案?！睋?jù)了解，開發(fā)團(tuán)隊(duì)擁有超過(guò)15年AMHS從業(yè)經(jīng)驗(yàn)，深刻理解半導(dǎo)體AMHS產(chǎn)品應(yīng)用及產(chǎn)品技術(shù)，目前已申請(qǐng)專利和軟著二十多項(xiàng)。

合肥欣奕華具備完善的制造品質(zhì)和供應(yīng)鏈體系，面對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)的品質(zhì)和交期需求，專為AMHS系統(tǒng)生產(chǎn)準(zhǔn)備的超4000平方米的高潔凈車間已做好充分的量產(chǎn)準(zhǔn)備，將為客戶提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品、適合的客制化系統(tǒng)解決方案、極具競(jìng)爭(zhēng)力的交付周期和快速反應(yīng)的本土化服務(wù)。合肥欣奕華以產(chǎn)業(yè)報(bào)國(guó)為抱負(fù)，始終秉持對(duì)核心技術(shù)的尊重和對(duì)創(chuàng)新的堅(jiān)持，秉持技術(shù)是產(chǎn)品生命力的理念，堅(jiān)信只有開發(fā)創(chuàng)新的技術(shù)和平臺(tái)，提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和服務(wù)，才能為客戶創(chuàng)造更大的價(jià)值，為中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)更快發(fā)展出一份力。（轉(zhuǎn)自：北京日?qǐng)?bào)）