8月30日,第五屆中國(國際)Micro LED顯示高峰論壇在重慶舉行。本屆論壇由鄭有炓院士、歐陽鐘燦院士攜17位企業(yè)大咖、院校專家,圍繞“量產(chǎn)關(guān)鍵技術(shù)及產(chǎn)業(yè)鏈創(chuàng)新”進行交流探討。
作為當天分享的重量級嘉賓,合肥欣奕華首席運營官兼首席技術(shù)官劉正勇先生以《巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)和量產(chǎn)化實踐》為題做了主題演講。
作為備受矚目的下一代顯示技術(shù),Mini/Micro LED顯示已然成為目前炙手可熱的技術(shù)話題,目前Mini/Micro LED產(chǎn)業(yè)發(fā)展遇到的瓶頸主要包括轉(zhuǎn)移效率、量產(chǎn)良率等方面,重點需要突破的技術(shù)包括巨量轉(zhuǎn)移、檢測和修復技術(shù),其中巨量轉(zhuǎn)移和修復是能否實現(xiàn)產(chǎn)品批量生產(chǎn)的關(guān)鍵。劉正勇先生表示,合肥欣奕華在巨量轉(zhuǎn)移研發(fā)方面,攻克了大尺寸高速轉(zhuǎn)移、高加速度高頻動作精準定位、基板偏移及變形校正、設(shè)備多源誤差測量與補償、高效轉(zhuǎn)移工藝等多項核心技術(shù),開發(fā)了業(yè)內(nèi)獨有的大尺寸巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備,可無極兼容各種尺寸,可以在65寸或更小尺寸上形成無需拼接的整板制作,柔性對應終端客戶產(chǎn)品尺寸變化。合肥欣奕華與客戶深入合作,就巨量轉(zhuǎn)移的應用環(huán)境、具體工藝過程和工藝參數(shù)對轉(zhuǎn)移效率、良率的影響進行研究,不斷優(yōu)化設(shè)備的量產(chǎn)適應性,高速、高良率巨量轉(zhuǎn)移技術(shù)和整體解決方案已在量產(chǎn)中驗證。目前合肥欣奕華已研發(fā)出大尺寸、中小尺寸和小尺寸三種規(guī)格的巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備,匹配產(chǎn)線需求,覆蓋背光、直顯產(chǎn)品,玻璃、PCB基材。
同時,針對Mini/Micro LED的缺陷檢測,在不同工序開發(fā)了品質(zhì)管控的缺陷檢測設(shè)備,可為客戶提供全工藝流程智能檢測解決方案,提高背光/直顯產(chǎn)品良率。劉正勇先生介紹目前合肥欣奕華充分發(fā)揮非接觸式電學檢測和光學檢測各自優(yōu)勢,已形成Mini LED背光/直顯基板線路斷路/短路(Open/Short)檢測、側(cè)邊線路Open/Short檢測、基板線路外觀檢測、固晶后/回流焊后外觀檢測、ET檢測、虛焊檢測、固膠&點膠外觀AOI等系列產(chǎn)品,覆蓋Mini LED主要工藝段的品質(zhì)檢測。合肥欣奕華在高精度運動平臺、高速高精系統(tǒng)控制、高速高精度2D AOI、高精度補償、固晶工藝、溫度補償、設(shè)備CIM方面形成了技術(shù)積淀,通過量產(chǎn)工藝積累和新技術(shù)融合,未來可為客戶提供更高精度、更高效率、更高良率、更智能化,實現(xiàn)Mini/Micro LED產(chǎn)品生產(chǎn)線巨量轉(zhuǎn)移、檢測、修復全流程管控整體解決方案。
在高峰論壇環(huán)節(jié),劉正勇先生與南京平板顯示行業(yè)協(xié)會副會長薛文進、康佳集團半導體科技事業(yè)部總經(jīng)理于海、天馬微電子股份有限公司創(chuàng)新中心先進技術(shù)研究院院長丁淵等行業(yè)大咖一起就Micro LED技術(shù)及產(chǎn)業(yè),更進行了激烈的討論,并于現(xiàn)場觀眾進行了互動。劉正勇先生詳細解答了如何保障巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備實現(xiàn)5個9良率的問題,他認為其中最重要的挑戰(zhàn)在于保持量產(chǎn)中穩(wěn)定性和一致性,并從設(shè)備結(jié)構(gòu)及性能、轉(zhuǎn)移過程中的工藝參數(shù)、針對量產(chǎn)中的不同MLED產(chǎn)品探索設(shè)備與工藝參數(shù)的最優(yōu)適配性等角度,詳細分享了合肥欣奕華的經(jīng)驗。同時他更強調(diào)設(shè)備廠商與上游材料/部件廠商、下游客戶一起協(xié)同合作攻關(guān)的重要性,只有Micro LED企業(yè)協(xié)同共贏,才能更好促進產(chǎn)業(yè)大發(fā)展。