近日,合肥欣奕華智能機(jī)器股份公司的“顯示面板制造缺陷自動(dòng)檢測(cè)及分類系統(tǒng)(ADC)”成功入選合肥市工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)創(chuàng)新應(yīng)用示范項(xiàng)目。該評(píng)選由合肥市經(jīng)信局組織開展,重點(diǎn)遴選在工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)領(lǐng)域具有創(chuàng)新示范帶動(dòng)效應(yīng)的項(xiàng)目。
顯示面板制造缺陷自動(dòng)檢測(cè)及分類系統(tǒng)(ADC)主要應(yīng)用于工藝環(huán)節(jié)的視覺檢測(cè)。在顯示面板生產(chǎn)過程中,由于制程工序多而復(fù)雜,產(chǎn)生不良類型種類繁多,人工判定存在效率低、漏檢、誤判等問題,以及異常無法及時(shí)反饋、產(chǎn)品無法及時(shí)得到修復(fù)的情況。傳統(tǒng)人工缺陷檢測(cè)的方式已經(jīng)無法滿足檢測(cè)需求,利用AI算法替代人工進(jìn)行缺陷檢測(cè)已成必然。
合肥欣奕華通過自主研發(fā)顯示面板制造缺陷自動(dòng)檢測(cè)及分類系統(tǒng)(ADC)解決方案,可以將在面板生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的不良問題,例如不良種類、不良大小、位置等,進(jìn)行綜合計(jì)算和缺陷的自動(dòng)分類。將不同站點(diǎn)AOI圖像采用獨(dú)立虛擬站點(diǎn)進(jìn)行分類,各虛擬站點(diǎn)可定制化規(guī)則及分類模型,干擾code少,準(zhǔn)確率更高;采用GPU計(jì)算,具有高達(dá)140FPS的對(duì)象識(shí)別速度;融合最新數(shù)據(jù)增強(qiáng)技術(shù),增強(qiáng)數(shù)據(jù)多樣性,改善數(shù)據(jù)質(zhì)量,進(jìn)而提高特征提取精度;具有四種不同深度的網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu),可根據(jù)硬件配置及時(shí)間需求選擇,實(shí)現(xiàn)模型配置自適應(yīng),最終將判圖結(jié)果推送至相關(guān)站點(diǎn)。不僅如此,ADC提供OP判圖模塊,讓人工檢測(cè)與自動(dòng)判圖相結(jié)合,進(jìn)一步完善整個(gè)檢測(cè)機(jī)制。同時(shí),也為后續(xù)的返工(Rework)、返修(Repair)等工藝操作提供指導(dǎo),低整個(gè)系統(tǒng)的不良率,及時(shí)減少返工和返修的工作量,顯著提升缺陷準(zhǔn)確率和檢測(cè)效率。該套解決方案系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)替代人工檢測(cè)率大于80%,圖片檢出率為99%,識(shí)別準(zhǔn)確度大于95%。
合肥欣奕華ADC解決方案具有可靠性、穩(wěn)定性等優(yōu)點(diǎn)。系統(tǒng)只根據(jù)需求調(diào)整可應(yīng)用于半導(dǎo)體、鋁板帶、鋁箔、不銹鋼制造、電子元器件、無紡布、織物、玻璃、紙張、薄膜等領(lǐng)域,該系統(tǒng)應(yīng)用前景廣闊,平臺(tái)搭建便捷,可推廣性強(qiáng),是工業(yè)企業(yè)提高產(chǎn)品質(zhì)量,減人增效的最優(yōu)選擇。
ADC不但能在顯示面板行業(yè)廣泛應(yīng)用,在新型半導(dǎo)體制造工藝中也將大有作為:在半導(dǎo)體制造中需要使用檢驗(yàn)工藝來檢測(cè)晶圓(wafer)上的缺陷進(jìn)而提高晶圓的合格率。人工檢驗(yàn)工藝,需要檢測(cè)人員在借助于檢驗(yàn)工具的同時(shí)進(jìn)行晶圓外觀的判定,并手動(dòng)地作以缺陷標(biāo)識(shí)。人工檢驗(yàn)用于機(jī)器檢驗(yàn)后的抽檢程序,能夠進(jìn)一步提高晶圓的合格率,然而人工檢驗(yàn)過程中,不可避免地會(huì)發(fā)生一些人為原因?qū)е碌娜毕荻ㄎ坏腻e(cuò)誤,例如檢測(cè)人員對(duì)缺陷坐標(biāo)的辨認(rèn)錯(cuò)誤或者手動(dòng)標(biāo)記時(shí)將缺陷位置標(biāo)錯(cuò)等,均易導(dǎo)致缺陷檢測(cè)和定位的誤差。自動(dòng)缺陷檢測(cè)及分類解決方案可以80%替代人工檢驗(yàn)工作,并提高半導(dǎo)體器件的缺陷檢測(cè)準(zhǔn)確率、降低缺陷定位錯(cuò)誤發(fā)生率。
在未來的智慧城市方面也將大有作為:在智慧城市交通管理方面,ADC可實(shí)現(xiàn)對(duì)城市的有效管理,自動(dòng)檢測(cè)道路飽和度,協(xié)助解決交通擁堵,當(dāng)路段車輛超過飽和度時(shí),可通過延長該路段入口處的紅燈時(shí)間或通過LED誘導(dǎo)屏及時(shí)向駕駛員發(fā)布路況信息,分流車輛;同時(shí),可對(duì)進(jìn)入城市的機(jī)動(dòng)車輛進(jìn)行行駛軌道全程自動(dòng)記錄,待接到報(bào)警,系統(tǒng)可對(duì)違法車輛自動(dòng)拍照、錄像取證。在智慧消防方面,可通過圖片監(jiān)控,隨時(shí)查看自家的情況,及時(shí)發(fā)現(xiàn)消防異常并預(yù)警,做到防患于未“燃”。
目前,合肥欣奕華此ADC系統(tǒng)在顯示面板行業(yè)工藝過程的缺陷檢測(cè)中已有著豐富的應(yīng)用案例。