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         近日，由上海灣區(qū)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)、中國光學(xué)光電子行業(yè)協(xié)會(huì)液晶分會(huì)、中國OLED產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟聯(lián)合主辦的第六屆“金水湖”論壇暨2023全球AMOLED生態(tài)鏈大會(huì)在上海金山假日酒店成功舉辦。此次大會(huì)以“屏行世界·芯動(dòng)未來”為主題，聚焦AMOLED領(lǐng)域熱點(diǎn)話題，匯集政府領(lǐng)導(dǎo)、行業(yè)專家及企業(yè)高層，共商行業(yè)發(fā)展。

         在會(huì)上，合肥欣奕華智能機(jī)器股份有限公司蒸鍍事業(yè)部張部長做了題為《OLED蒸鍍設(shè)備國產(chǎn)化進(jìn)展》的報(bào)告。張部長指出，當(dāng)前新型顯示產(chǎn)業(yè)從技術(shù)、應(yīng)用、載體多方面進(jìn)入百花齊放的發(fā)展階段。OLED憑借輕薄、柔性、高刷新率、高色域、高對比、高適應(yīng)性等優(yōu)勢已經(jīng)成為智能手機(jī)、智能穿戴、車載顯示市場新的發(fā)展趨勢，加上近年來折疊手機(jī)迎來市場高爆發(fā)時(shí)期，OLED滲透率隨之大幅增長。根據(jù)2022年Omdia 數(shù)據(jù)，在2017-2022年間，中國OLED產(chǎn)能由0.6平方千米增長至21.8平方千米。國內(nèi)OLED行業(yè)如火如荼發(fā)展，但設(shè)備國產(chǎn)化率僅30%左右，高技術(shù)壁壘設(shè)備比重仍需努力突破，尤其是OLED面板量產(chǎn)核心工藝設(shè)備—蒸鍍機(jī)。

         蒸鍍機(jī)可將有機(jī)發(fā)光材料精準(zhǔn)、均勻地蒸鍍到基板上，是保障高精細(xì)度顯示產(chǎn)品順利量產(chǎn)的核心要素。但是，這樣的核心設(shè)備，曾經(jīng)長時(shí)間依賴進(jìn)口，導(dǎo)致不少國內(nèi)企業(yè)一直被國外企業(yè)“卡脖子”。

         合肥欣奕華自2015年就開始專注蒸發(fā)源和蒸鍍機(jī)研發(fā)，憑借多年研發(fā)設(shè)計(jì)經(jīng)驗(yàn)，攻克了OLED蒸鍍機(jī)膜厚均一性、穩(wěn)定性和高精密對位技術(shù)等難題，2017年成功完成首臺(tái)G1 OLED蒸鍍機(jī)（可蒸鍍基板尺寸200*200mm）的量產(chǎn)交付。G1 OLED蒸鍍機(jī)的成功研發(fā)，帶動(dòng)了G2.5（可蒸鍍基板尺寸370*470mm）OLED蒸鍍機(jī)及G6H（可蒸鍍基板尺寸925*1500mm）蒸鍍機(jī)關(guān)鍵裝置的相繼問世。2021年，合肥欣奕華研制交付國內(nèi)首臺(tái)硅基蒸鍍機(jī)，是我國泛半導(dǎo)體領(lǐng)域核心工藝裝備自主化道路上的又一里程碑。2022年繼續(xù)研發(fā)完成G8.5蒸發(fā)源和對位系統(tǒng)，設(shè)備長時(shí)間運(yùn)行穩(wěn)定、對位精度高、蒸鍍均一性高，出色的性能和先進(jìn)的技術(shù)水平在業(yè)內(nèi)贏得了良好的口碑。目前，合肥欣奕華形成了完善的蒸鍍機(jī)技術(shù)研發(fā)體系，可以持續(xù)為新型顯示產(chǎn)品的“智造”工藝創(chuàng)新增添動(dòng)力。

         對于OLED的未來行業(yè)發(fā)展，張部長非常看好，他表示合肥欣奕華將基于未來5年OLED市場和技術(shù)發(fā)展趨勢，尤其是硅基和IT大尺寸OLED這兩個(gè)方向，進(jìn)行了一些面向未來的產(chǎn)品和技術(shù)規(guī)劃，比如硅基蒸鍍技術(shù)迭代升級，可滿足客戶高精密的FMM蒸鍍對位精度要求，或者采用CMM蒸鍍方式，利用光刻的方式來進(jìn)行曝光、刻蝕處理。大尺寸蒸鍍機(jī)及配套蒸發(fā)源的開發(fā)也是合肥欣奕華的重點(diǎn)，他表示未來OLED顯示技術(shù)將向著多用途、高性能、低成本的方向發(fā)展，蒸鍍設(shè)備將提升相關(guān)技術(shù)水平，賦能OLED顯示產(chǎn)業(yè)更快更好的發(fā)展。