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         大尺寸Mini LED巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備、AMOLED及硅基蒸鍍機(jī)、顯示面板OS檢測設(shè)備、顯示面板潔凈搬運(yùn)機(jī)器人……這些極具行業(yè)競爭力的國際、國內(nèi)首臺套重大技術(shù)裝備產(chǎn)品，均來自位于安徽省合肥市新站高新區(qū)的合肥欣奕華智能機(jī)器股份有限公司(下文簡稱“合肥欣奕華”)。

         作為工業(yè)4.0時代我國先進(jìn)的泛半導(dǎo)體智能制造整體解決方案供應(yīng)商，合肥欣奕華自2013年成立至今，已相繼攻關(guān)了多項(xiàng)泛半導(dǎo)體行業(yè)重大難點(diǎn)技術(shù)，擁有超300項(xiàng)自主研發(fā)專利，多項(xiàng)核心技術(shù)達(dá)到國際先進(jìn)水平，為我國新型顯示產(chǎn)業(yè)鏈“補(bǔ)鏈”“強(qiáng)鏈”發(fā)揮了重要作用。

         在世界制造業(yè)大會上，合肥欣奕華作為安徽技術(shù)創(chuàng)新的代表之一，攜公司研發(fā)的國內(nèi)首臺蒸鍍機(jī)產(chǎn)品受邀參展。該公司合肥區(qū)域總經(jīng)理兼OLED事業(yè)部總經(jīng)理曹景博介紹，公司最新研發(fā)的應(yīng)用于鈣鈦礦領(lǐng)域的蒸鍍機(jī)已經(jīng)交付客戶使用，而公司自2020年開始布局的半導(dǎo)體AMHS系統(tǒng)開發(fā)，也于近期完成Demo開發(fā)并通過客戶技術(shù)規(guī)格認(rèn)證。

核心裝備國產(chǎn)化 國內(nèi)首臺補(bǔ)空白

         蒸鍍機(jī)作為OLED顯示行業(yè)的“心房”，其作用是把顯示材料精準(zhǔn)、均勻地蒸鍍到基板上形成發(fā)光膜層，是保障高精細(xì)度顯示產(chǎn)品順利量產(chǎn)的核心要素之一。而在2015年之前，該設(shè)備長期被國外壟斷，國內(nèi)面板制造企業(yè)曾經(jīng)為了購買這樣一臺機(jī)器，需要一次性拿出十幾億元(人民幣，下同)采購款項(xiàng)，且費(fèi)盡周折才能買到。蒸鍍設(shè)備一機(jī)難求曾經(jīng)是限制國內(nèi)面板廠商擴(kuò)大OLED產(chǎn)能的重要原因。

     為了解決行業(yè)痛點(diǎn)，2015年，合肥欣奕華開始布局蒸鍍設(shè)備研發(fā)?！罢翦儥C(jī)研發(fā)過程中，包括控制蒸鍍薄膜的均勻性、控制高精密對位系統(tǒng)以及保持腔體的高真空度等很多方面都是研發(fā)難點(diǎn)?！辈芫安┙榻B，團(tuán)隊(duì)經(jīng)過三年的攻關(guān)，才在2017年推出了第一代G1 OLED蒸鍍及封裝系統(tǒng)設(shè)備，為我國在這一裝備技術(shù)領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了突破，填補(bǔ)了國內(nèi)顯示行業(yè)上游核心設(shè)備的缺失。然而G1 OLED蒸鍍機(jī)的很多核心零部件、配套元件都是國外進(jìn)口，要想真正提升國產(chǎn)蒸鍍機(jī)在行業(yè)內(nèi)的競爭力，避免因貿(mào)易環(huán)境帶來的核心部件的封鎖等風(fēng)險(xiǎn)，提高蒸鍍機(jī)設(shè)備的國產(chǎn)化率必不可少。

        “以蒸鍍機(jī)真空腔體的部件加工為例，蒸鍍機(jī)要求其真空腔體要達(dá)到10^(-5)Pa，同時為了保證OLED器件性能，其表面的離子濃度要控制在PPB級別(濃度單位)，要求非常高，但是我們在國內(nèi)找了很多供應(yīng)商，都達(dá)不到這樣的標(biāo)準(zhǔn)?！辈芫安┍硎荆饲肮臼桥c韓國企業(yè)合作，后來在研發(fā)第二代G2.5 OLED蒸鍍機(jī)的過程中，公司主動向韓國供應(yīng)商學(xué)習(xí)探討控制零部件表面離子濃度的工藝方法，學(xué)習(xí)國外先進(jìn)的工藝流程，然后再與國內(nèi)有潛力的供應(yīng)鏈企業(yè)一同研發(fā)這項(xiàng)技術(shù)。

        “我們最后花了一年多時間的研發(fā)，終于同國內(nèi)供應(yīng)商實(shí)現(xiàn)了零部件表面離子濃度參數(shù)的標(biāo)準(zhǔn)?！辈芫安┱J(rèn)為，對于起步較晚的國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)來說，通過學(xué)習(xí)國外先進(jìn)的技術(shù)，整合產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)攜手共同發(fā)展，國內(nèi)的產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)才能不斷提高競爭力。

研發(fā)投入達(dá)8% 建國際團(tuán)隊(duì)促研發(fā)

         此前，合肥欣奕華就曾遇到進(jìn)口設(shè)備核心零部件斷供的問題，嚴(yán)重影響了公司設(shè)備的按期交付。曹景博認(rèn)為，只有掌握核心技術(shù)才有話語權(quán)，因此國內(nèi)產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)提前布局創(chuàng)新研發(fā)是必不可少的。合肥欣奕華在研發(fā)投入方面，近年來一直持續(xù)增加，目前每年的研發(fā)投入已占銷售收入比重的8%左右。與此同時，合肥欣奕華打造泛半導(dǎo)體裝備校企聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室，與中國科學(xué)院、北京航空航天大學(xué)、北京理工大學(xué)、清華大學(xué)、西安交通大學(xué)、哈爾濱工業(yè)大學(xué)等高校合作，建立先進(jìn)技術(shù)研究院和產(chǎn)品研發(fā)所等。

         目前，合肥欣奕華已主持和參與國家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃項(xiàng)目2項(xiàng)，承擔(dān)國家電子信息產(chǎn)業(yè)振興和技術(shù)改造專項(xiàng)2項(xiàng)，牽頭編制工業(yè)機(jī)器人行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)1項(xiàng)。同時，更有5項(xiàng)產(chǎn)品通過了安徽省首臺套重大技術(shù)裝備認(rèn)定。對于合肥欣奕華來說，自主知識產(chǎn)權(quán)構(gòu)筑的強(qiáng)有力核心技術(shù)是企業(yè)發(fā)展的最重要護(hù)城河。

         曹景博介紹，合肥欣奕華的600名員工中，研發(fā)人員占比達(dá)70%，公司擁有30多名海外專家，核心團(tuán)隊(duì)有超過平均10年的泛半導(dǎo)體領(lǐng)域行業(yè)經(jīng)驗(yàn)，憑借先進(jìn)的技術(shù)，以及不斷創(chuàng)新的能力，合肥欣奕華已成為智能制造領(lǐng)域重要的賦能者。

提升產(chǎn)業(yè)鏈議價權(quán) 售后維保降成本

          自2015年布局蒸鍍機(jī)設(shè)備至今，合肥欣奕華已先后在該設(shè)備研發(fā)上投入數(shù)億元。2018年、2019年，合肥欣奕華相繼研制推出第二代G2.5 OLED蒸鍍機(jī)以及G8.5 OLED蒸發(fā)源系統(tǒng)，順利導(dǎo)入客戶量產(chǎn)。2021年，該公司自主研發(fā)的國內(nèi)首臺硅基蒸鍍機(jī)成功導(dǎo)入客戶量產(chǎn)線并完成全彩點(diǎn)亮。今年，最新研發(fā)的應(yīng)用于鈣鈦礦領(lǐng)域的真空鍍膜機(jī)也交付客戶使用，而針對平板顯示最新的8.5高世代線的蒸鍍機(jī)設(shè)備，該公司已開始布局研發(fā)。

          隨著合肥欣奕華在蒸鍍機(jī)設(shè)備領(lǐng)域研發(fā)的不斷突破，不僅解決了國內(nèi)部分企業(yè)對低世代線蒸鍍機(jī)設(shè)備的使用需求，更助力產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)在諸多方面降低成本。與此同時，合肥欣奕華還具備了為采購國外設(shè)備的企業(yè)進(jìn)行售后維修保養(yǎng)的能力。對于半導(dǎo)體設(shè)備來說，邀請國外工程師進(jìn)行售后維保是一項(xiàng)很大的開支，合肥欣奕華可以進(jìn)一步為相關(guān)企業(yè)降低設(shè)備維保成本。

扎根平板顯示集聚區(qū) 凝聚合力共成長

         京東方、維信諾、翰博高新等一批位于新站高新區(qū)的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)，如今都是合肥欣奕華的客戶。在2013年選址新站高新區(qū)時，合肥欣奕華就認(rèn)準(zhǔn)了這里打造平板顯示產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)的規(guī)劃前景。近年來，新站高新區(qū)加快建設(shè)國家級新型顯示產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)，招引了很多顯示產(chǎn)業(yè)上下游優(yōu)質(zhì)項(xiàng)目，配套能力越來越強(qiáng)，顯示產(chǎn)業(yè)布局亦越來越充實(shí)，基本上形成了從“沙子”到“整機(jī)”的顯示產(chǎn)業(yè)全鏈條。離客戶最近，離產(chǎn)業(yè)鏈最近，給合肥欣奕華的發(fā)展帶來了更多商機(jī)。

         曹景博介紹，新站高新區(qū)目前匯聚新型顯示產(chǎn)業(yè)上下游企業(yè)95家，約占合肥市123家的77%，2021年新型顯示產(chǎn)業(yè)總產(chǎn)值同比增長超20%，這與合肥欣奕華聚焦新型顯示與半導(dǎo)體高端裝備、工業(yè)機(jī)器人和智能工廠解決方案的發(fā)展方向，高度契合。企業(yè)的發(fā)展也離不開新站區(qū)產(chǎn)業(yè)集群的助力，產(chǎn)業(yè)鏈的不斷健全，促進(jìn)了企業(yè)供應(yīng)體系的完善，讓公司不僅上游供應(yīng)更有保障、成本更低，還利于與下游企業(yè)協(xié)同攻關(guān)，推動了企業(yè)市場開拓，并提高對下游企業(yè)的服務(wù)質(zhì)量。

         在此基礎(chǔ)上，合肥欣奕華亦享受到了新站高新區(qū)賦能創(chuàng)優(yōu)營商環(huán)境推出的多項(xiàng)優(yōu)惠政策，其中，公司享受到的新產(chǎn)品研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目的政府專項(xiàng)資金扶持和稅收返還政策，平均每年都超過1000萬元。曹景博表示，這些政策的享受對于合肥欣奕華持續(xù)開展新產(chǎn)品研發(fā)，持續(xù)加大研發(fā)投入起到了關(guān)鍵作用，更為該公司后來順利推出多款國內(nèi)首臺套重大技術(shù)裝備產(chǎn)品奠定了基礎(chǔ)。