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         9月11日至12日，由亞化咨詢主辦的2023鈣鈦礦技術、設備和材料論壇在常州召開，在會上合肥欣奕華智能機器股份有限公司蒸鍍事業(yè)部銷售總監(jiān)劉先生做了題為《大面積工業(yè)化鈣鈦礦太陽能電池制造關鍵工藝》的主題演講。

         “碳達峰”和“碳中和”一直都是能源領域的熱點話題，作為助力“雙碳”戰(zhàn)略的生力軍，光伏產(chǎn)業(yè)具有舉足輕重的地位。利用太陽能主要方式之一就是通過太陽能電池，將光能轉(zhuǎn)化成電能。鈣鈦礦太陽能電池（Perovskite solar cells, PSCs）就是備受關注的后起之秀?！笆奈濉遍_局之年的2021年，開展鈣鈦礦等先進高效電池技術應用就已經(jīng)寫在了可再生能源規(guī)劃中，持續(xù)促進產(chǎn)業(yè)發(fā)展進步。鈣鈦礦電池產(chǎn)業(yè)化進程如火如荼，經(jīng)過10年發(fā)展，鈣鈦礦電池已經(jīng)成為目前效率最高的薄膜電池，也是現(xiàn)階段效率最高的柔性薄膜電池。如何制備大面積且能保持較高效率的鈣鈦礦太陽能電池，成了制約其產(chǎn)業(yè)化應用的“阿喀琉斯之踵”。

         目前，制備大面積鈣鈦礦電池的主流技術，主要有狹縫涂布法和真空蒸鍍法等。各電池廠通過材料選擇和工藝調(diào)整，來實現(xiàn)大面積鈣鈦礦電池量產(chǎn)的可行性。其中真空蒸鍍成膜的方式，優(yōu)勢主要有：大面積量產(chǎn)技術成熟，1.25m * 2.2m 真空蒸鍍（OLED） 已實現(xiàn)量產(chǎn)；真空環(huán)境下成膜，膜厚均一性好、成膜品質(zhì)高、工藝穩(wěn)定適合大規(guī)模量產(chǎn)；可對應晶硅粗糙襯底制作疊層器件；沉積速率可精準控制，但目前整體設備成本相對較高以及材料利用率相對偏低。

         近年來，依托OLED蒸鍍技術積淀，合肥欣奕華攻克了大面積鈣鈦礦成膜技術，包括鹵化物材料防腐蝕共蒸技術、近空間高材料利用率技術、獨特無變性坩堝設計：確保材料穩(wěn)定蒸鍍，線源長時間穩(wěn)定化蒸鍍技術等。目前合肥欣奕華已經(jīng)形成鈣鈦礦蒸鍍機系列產(chǎn)品，應對客戶不同需求，且已實現(xiàn)多臺1.2米X0.6米大尺寸鈣鈦礦蒸鍍設備交付。

         要確保膜厚的均一性，蒸發(fā)源的性能尤為重要，目前合肥欣奕華在顯示行業(yè)有大尺寸點源和線源的出貨業(yè)績，可對應1250*2400mm以上的基板，完全滿足鈣鈦礦大尺寸面積蒸鍍的需求。同時，通過結構設計優(yōu)化，可大幅提升蒸鍍材料利用率。對具有一定的腐蝕性的甲醚類材料蒸鍍，合肥欣奕華在腔體和泵的設計上也加入了一些新的考量，目前對此類材料的蒸鍍速率的監(jiān)控也做了穩(wěn)定性的開發(fā)測試。

         中泰證券資料顯示，2021年全球鈣礦太陽能電池市場價值已達1.7億美元，預計2029年將達到62.9億美元。鈣鈦礦電池關鍵技術壁壘之一在于設備，合肥欣奕華基于OLED蒸鍍底層核心技術，外延拓展鈣鈦礦蒸鍍機已取得多個行業(yè)頭部客戶訂單并交付，協(xié)助客戶成功實現(xiàn)鈣鈦礦產(chǎn)品的研發(fā)與量產(chǎn)。公司將繼續(xù)深耕蒸鍍設備的研發(fā)和生產(chǎn)，在鈣鈦礦太陽能電池制造領域的不斷努力和創(chuàng)新，推動全球光伏行業(yè)可持續(xù)發(fā)展做出貢獻。