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         9月20日-24日，2023世界制造業(yè)大會(huì)在合肥召開。本屆大會(huì)以“智造世界·創(chuàng)造美好”為主題開展交流探討，共話制造大計(jì)、共商合作發(fā)展、共創(chuàng)美好未來。合肥欣奕華智能機(jī)器股份有限公司作為安徽省本土泛半導(dǎo)體高端裝備企業(yè)，本次主要攜半導(dǎo)體AMHS、顯示方面的MLED巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備及鈣鈦礦蒸鍍機(jī)精彩亮相。

         合肥欣奕華在本次制造業(yè)大會(huì)開幕式發(fā)布了公司最新量產(chǎn)交付的半導(dǎo)體AMHS產(chǎn)品。作為國內(nèi)可以為半導(dǎo)體客戶Fab提供半導(dǎo)體OHT、Stocker、NTB等AMHS整體解決方案的廠商，合肥欣奕華自主研發(fā)的OHT走行速度最高可達(dá)320m/min，振動(dòng)≤0.5G，擁有自主開發(fā)的路徑探索算法，支持控制系統(tǒng)不停機(jī)更新，搬送效率達(dá)國際先進(jìn)水平，能有效助力半導(dǎo)體生產(chǎn)線稼動(dòng)率和良率提升。

         時(shí)隔一年，合肥欣奕華自主研發(fā)的MLED大尺寸巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備再次登上世界制造業(yè)的舞臺(tái)。巨量轉(zhuǎn)移技術(shù)主要是將微米級(jí)的LED晶?？焖偾揖珳?zhǔn)地轉(zhuǎn)移到驅(qū)動(dòng)電路基板上，并與驅(qū)動(dòng)電路之間形成良好的電氣連接和機(jī)械固定。屬于MLED顯示產(chǎn)品制程中最核心的工藝設(shè)備，巨量轉(zhuǎn)移的效率、良率直接關(guān)系到MLED顯示產(chǎn)品的成本和良率。合肥欣奕華MLED巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備實(shí)現(xiàn)了系列化產(chǎn)品開發(fā)和技術(shù)的持續(xù)迭代，合肥欣奕華還就巨量轉(zhuǎn)移的使用環(huán)境、具體工藝過程和工藝參數(shù)對(duì)綜合效率的影響進(jìn)行研究，不斷優(yōu)化設(shè)備的環(huán)境適應(yīng)性、轉(zhuǎn)移工藝過程和關(guān)鍵工藝參數(shù)，設(shè)備可對(duì)應(yīng)MLED背光、直顯產(chǎn)品，兼容玻璃、PCB以及柔性基材等多種基板，產(chǎn)品和技術(shù)能力達(dá)到了全球先進(jìn)水平。

         此外，在世界制造業(yè)大會(huì)的光伏分會(huì)場(chǎng)，合肥欣奕華李經(jīng)理受邀發(fā)布《蒸鍍?cè)O(shè)備的研發(fā)與應(yīng)用推進(jìn)鈣鈦礦產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程》的主題演講，介紹蒸鍍?cè)O(shè)備在鈣鈦礦領(lǐng)域應(yīng)用的最新動(dòng)態(tài)，以及對(duì)如何實(shí)現(xiàn)大面積、高品質(zhì)、均一性好的薄膜，確保材料無變性，實(shí)現(xiàn)材料穩(wěn)定蒸鍍等內(nèi)容發(fā)表觀點(diǎn)。他表示像甲醚類的材料，因?yàn)閾]發(fā)性強(qiáng)，速率不好監(jiān)控，對(duì)腔體有腐蝕性，合肥欣奕華做了腔室的優(yōu)化，腔壁和泵的優(yōu)化，來保障材料的穩(wěn)定蒸鍍。合肥欣奕華目前在鈣鈦礦蒸鍍領(lǐng)域的核心優(yōu)勢(shì)包括高精度和高穩(wěn)定性大尺寸蒸發(fā)源及高精密控制技術(shù)、可針對(duì)不同規(guī)格基板尺寸進(jìn)行蒸發(fā)源均勻性客制化模擬，目前已經(jīng)實(shí)現(xiàn)鈣鈦礦小尺寸工藝驗(yàn)證機(jī)型和大尺寸量產(chǎn)機(jī)型系列化產(chǎn)品開發(fā)和量產(chǎn)交付，獲得了多家頭部光伏企業(yè)設(shè)備訂單。

         作為國內(nèi)泛半導(dǎo)體高端裝備研發(fā)企業(yè)之一，未來，合肥欣奕華將持續(xù)加大對(duì)高端裝備的研發(fā)與投入，解決更多國家“卡脖子”問題，為中國半導(dǎo)體、顯示、光伏等行業(yè)快速發(fā)展貢獻(xiàn)力量。